Auch bei den erfahrensten Schaltungsentwicklern können bei der Layouterzeugung Fehler auftreten, die eine volle Funktionsfähigkeit der Schaltung beeinträchtigen. Zudem besitzt jeder Chiphersteller unterschiedliche Restriktionen, die für den jeweiligen Technologieprozess gelten. Diese Einschränkungen gewährleisten die zuverlässige Funktionalität der gefertigten Schaltung. Daher müssen vom Chiphersteller Bedingungen, die im Layout gelten sollen, dem Schaltungsentwickler vorgegeben werden. Bei Fehlern muss ein Redesign vorgenommen werden, das im hierarchischen Entwurf einen Rücksprung auf eine höhere Ebene entspricht. Obwohl das einen erheblichen Zeitaufwand bedeutet, ist diese Vorgehensweise weitaus kostengünstiger, als die Fertigung einer nicht funktionsfähigen Schaltung.
Die Verifikation des Schaltungslayouts wird durch geeignete Prüfprogramme automatisch durchgeführt, wobei die Regeln für die Prüfung vom Chiphersteller vorgegeben sind, aber vom Schaltungsentwickler erweitert werden können. Vor der Einführung von Software-Werkzeugen etwa Mitte der siebziger Jahre wurden ausschließlich visuelle Kontrollen durchgeführt. Diese waren jedoch sehr langsam und fehlerträchtig und mit wachsender Komplexität auch für den Menschen kaum zumutbar. Bei der heutigen Anzahl von Regeln in Verbindung mit den vielen beteiligten Layern ist eine automatisierte Prüfung unumgänglich.
Die Layoutprüfung ist ein technologieabhängiger Vorgang. Während die technologiespezifische Information anfangs unmittelbar in die Programme hinein codiert wurde, gelang es später, die Prüffunktionen so zu verallgemeinern, dass die Technologieabhängigkeit in den Bereich der Programmparameter und Eingabedaten verlagert werden konnte. Dazu dienen heute so genannte Technologiebeschreibungssprachen. Mit ihrer Hilfe lassen sich die Grundelemente eines Prozesses (Ebenen, Prozessparameter), seine geometrischen Beschreibungselemente (geometrische Elemente, Standardbreiten, etc.) und vollständige Prüfsequenzen beschreiben.
Jeder Chiphersteller gibt für den Herstellungsprozess eine Reihe von geometrischen Restriktionen an. In den so genannten Entwurfsregeln (Design Rules) werden z.B. Mindestabstände , Mindestbreiten , Überlappungen und Innenlagen der einzelnen Layer und Layerkombinationen festgelegt. Entwurfsregeln sind neben dem Layout die Eingangsparameter der Entwurfsregelprüfung. Regelverletzungen und eine Fehlerliste stellen die Ausgabe dar.