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Entwurfsregeln Geometrierestriktionen ProzessbedingteAbweichungen Kontaktlöcher Fotolack Oxid Metall Substrat Kontaktloch Leitbahn Polysilizium Diffusionsgebiet Justiertoleranzen

Entwurfsregeln können in drei Kategorien eingeordnet werden, die im Folgenden erläutert werden.

  • Elektrisch bedingte Geometrierestriktionen
  • Prozessbedingte Abweichungen
  • Justiertoleranzen von Masken