Ein Beispiel für prozessbedingte Abweichungen ist die endliche Auflösung von Ätzprozessen, die je nach Herstellungsprozess variieren. Aber auch die laterale Ausbreitung einer Diffusion wird den prozessbedingten Abweichungen zugeordnet. Die Abbildung zeigt links Kontaktlöcher für eine Durchkontaktierung zu einer zweiten Metallebene mit dem erforderlichen Mindestabstand. Die Kontaktlöcher sind unter den Öffnungen im Fotolack aufgeweitet, weil der Ätzprozess nicht ideal vertikal abläuft.
Rechts ist der Mindestabstand nicht eingehalten, so dass es zu einer Überschneidung zweier Kontaktlöcher und damit zu einem Kurzschluss kommt.