Leitbahnparasiten entstehen durch die nichtidealen Eigenschaften der Verbindungsstrukturen. Beim Entwurf integrierter Schaltungen war es lange Zeit ausreichend, Leitbahnen als ideale Verbindung zwischen zwei Knoten A und B zu betrachten. Durch den technologischen Fortschritt werden die physikalischen Strukturen immer kleiner und die Frequenzen der Spannungen und Ströme immer höher. Dies führt dazu, dass immer genauere Modelle für Leitbahnen berücksichtigt werden müssen.
Zunächst wurde das elektrische Feld zwischen Leitbahn und dem darunter liegenden Halbleitersubstrat berücksichtigt. Dazu wurde eine Kapazität zwischen Leitbahn und Masseknoten eingefügt.
Zur Abschätzung der unmittelbarer Leitungsverzögerungen in digitalen Schaltungen wurde ein Modell benötigt, in dem die Widerstände mit den Kapazitäten der Leitbahn ein einfaches Verzögerungsglied darstellen. Dieses Modell kann durch eine abschnittsweise Betrachtung weiter verfeinert werden. Darüber hinaus ist es heute häufig notwendig auch das Übersprechen zu lateral oder vertikal benachbarten Leitbahnen durch Koppelkapazitäten zu berücksichtigen. Dies führt zu kombinierten R/C-Modellen mit steigender Komplexität.
Mit weiterem technologischen Fortschritt wurde es notwendig, Leitungsreflexionen zu berücksichtigen. Dazu wurden Modelle der Leitungstheorie mit verteilten Elementen (R’, C’ und L’) verwendet, die den Zusammenhang zwischen Ausgangs- und Eingangsgröße anhand der allgemeinen Leitungsgleichungen darstellen. Eine noch genauere dreidimensionale Betrachtung ergibt sich aus der Anwendung der Feldtheorie. Durch Anwendung der Maxwellschen Gleichungen werden die elektromagnetischen Felder der Leitbahnen berechnet. Die Integration solcher Modelle in die Netzliste stellt besondere Anforderungen an den Analogsimulator, da die Eingangsgrößen nicht mehr Spannungen und Ströme, sondern elektrische und magnetische Feldgrößen darstellen.
Die höhere Genauigkeit, die man mit komplexeren Modellen erreicht, erfordert einen größeren Aufwand in der Simulation. Der Entwickler muss abwägen, welche Genauigkeit notwendig ist und wie viel Zeit die entsprechende Simulation benötigen darf.