Parasitäre Effekte entstehen aufgrund von physikalischen Effekten, die nicht in direktem Zusammenhang mit der gewünschten Funktion der Schaltung stehen. Sie ergeben sich aus der Realisierung der integrierten Schaltung und können erst nach Entwurf des Layouts berücksichtigt werden. Parasitäre Effekte treten nicht nur innerhalb der Bauelemente auf. Um parasitäre Effekte auch außerhalb von Bauelementen zu berücksichtigen, werden zusätzliche parasitäre Elemente extrahiert. Diese parasitären Elemente beschreiben die Eigenschaften der parasitären Effekte bei einer analogen Schaltungssimulation. Das Ergebnis ist eine erweiterte elektrische Netzliste, die neben den Nutzelementen der Schaltung zusätzlich parasitäre Elemente enthält.
Innerhalb der Halbleiterstrukturen können parasitäre Effekte unterschieden werden, die auf aktive oder passive Elemente führen. Da ein großer Teil der Schaltung aus Verbindungen der Bauelemente untereinander besteht, nehmen die parasitären Effekte der Verbindungsstrukturen (Leitbahnen) eine besondere Rolle ein. Es ergibt sich eine Unterteilung in drei Gruppen von parasitären Elementen:
- Leitbahnparasiten
- Aktive Parasiten im Halbleiter
- Passive Parasiten im Halbleiter