Die Bauelementerkennung erfolgt aus der geometrischen Struktur des Layouts. Sie beginnt bei den Transistoren. Diese können leicht an der Topologie ihrer Gates lokalisiert werden. Dazu werden boolesche Operationen an den Layoutdaten durchgeführt (z.B. NGATE=(POLY and NDIFF)). Aufgrund ähnlicher und zum Teil komplexerer Operationen können sämtliche Bauelemente erkannt werden.