Bei der Herstellung integrierter Schaltungen kommt es infolge von Toleranzen zu statistisch verteilten Abweichungen von den vorgegeben Schaltungsparametern. Beispielsweise unterliegen Widerstände in integrierten Schaltungen Toleranzen von ca. 20%. Durch diese Schwankungen kommt es zu Spezifikationsverletzungen bei einem Teil der hergestellten integrierten Schaltungen, d. h. die Ausbeute liegt unter 100%. Sie ist allgemein als Quotient aus der Anzahl der Schaltungen, die die Spezifikation einhalten, zu der Gesamtzahl der Schaltungen definiert. Um eine maximale Ausbeute zu erzielen, muss diese als Zielfunktion der Optimierung gewählt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass so viele herstellte Schaltungen wie möglich die Spezifikation einhalten. Im Rahmen der Optimierung muss die Ausbeute durch Analyse bestimmt werden, indem die statistischen Vorgänge der Fertigung simuliert werden. Derartige Simulationen sind jedoch sehr aufwändig.